640×51215μm杜瓦真空失效的极限真空度研究

来源 :激光与红外 | 被引量 : 0次 | 上传用户：jonh0521

【摘要】

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真空微型杜瓦内部需要高真空度来降低杜瓦与外界的热交换,保持探测器芯片低温工作温度稳定.不同杜瓦失效的真空度有一定的区别,本文通过对640×51215μm及320×256这两种杜瓦

【作者】

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王冠孟令伟张冬亮房方杨斌

【机构】

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中国电子科技集团公司第十一研究所,北京,100015空军驻华北地区军事代表室,北京,100086;

【出处】

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激光与红外

【发表日期】

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2019年12期

【关键词】

：

真空失效杜瓦静态热负载

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真空微型杜瓦内部需要高真空度来降低杜瓦与外界的热交换,保持探测器芯片低温工作温度稳定.不同杜瓦失效的真空度有一定的区别,本文通过对640×51215μm及320×256这两种杜瓦组件进行不同真空度下的静态热负载测试,确定以上两种杜瓦结构的真空失效时的极限真空度.通过对比分析杜瓦组件的真空失效机理及实验数据,提出改进该结构杜瓦真空寿命的措施.

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