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对电感耦台等离子体原子发射光谱（ICP—OES）法测金属硅中硼的不确定度来源进行了详细分析，对测定过程中的主要不确定度进行了合理的评定，包括：样品称量引入的不确定度、校准曲线引入的不确定度、容量瓶和移液管体积引入的不确定度以及测量的重复性和仪器引入的不确定度，最后合成标准不确定度乘以95％置信概率下的扩展因子2，获得测量结果的扩展不确定度，并确定了分析结果的置信区间。