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随着人们对光学仪器分辨率的不懈追求,出现了超分辨这一概念。文中主要研究介绍了显微镜和投影光刻系统中的几种光学超分辨技术,并比较了两类系统超分辨技术的不同和联系,对光学超分辨技术进行总结。
几种光学超分辨技术研究
【摘 要】
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随着人们对光学仪器分辨率的不懈追求,出现了超分辨这一概念。文中主要研究介绍了显微镜和投影光刻系统中的几种光学超分辨技术,并比较了两类系统超分辨技术的不同和联系,对
【机 构】
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北京理工大学,光电信息控制和安全技术重点实验室
【出 处】
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光电技术应用
【发表日期】
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2017年4期
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