微电极阵列若干电化学特性的研究

来源 :分析化学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zhrwudi

【摘要】

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用微电子平面工艺制备了带宽和边长分别为１０、２０、３０μｍ的带形和正方形微电极阵列（ＢＭＥＡ和ＳＭＥＡ）。在Ｋ３Ｆｅ（ＣＮ）６溶液中研究了它们的电化学特性。边长为１０μｍ的ＳＭＥＡ（工作电极总面积仅为９×１０＾－３ｍｍ＾２）有最大的电流密度（１２．１μＡ／ｍｍ＾２）和最

【作者】

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朱建中刘晓辉

【机构】

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中国科学院上海冶金研究所

【出处】

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分析化学

【发表日期】

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1994年1期

【关键词】

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微电极阵列电化学铁氰化钾 Micro-electrode array Electrochemical characteristics Potassium

【基金项目】

：

国家自然科学基金资助课题

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用微电子平面工艺制备了带宽和边长分别为１０、２０、３０μｍ的带形和正方形微电极阵列（ＢＭＥＡ和ＳＭＥＡ）。在Ｋ３Ｆｅ（ＣＮ）６溶液中研究了它们的电化学特性。边长为１０μｍ的ＳＭＥＡ（工作电极总面积仅为９×１０＾－３ｍｍ＾２）有最大的电流密度（１２．１μＡ／ｍｍ＾２）和最短的响应时间（５ｓ）。同一硅片中任选５个ＳＭＥＡ其Ｈ２Ｏ２工作曲线的线性范围为０．１～５ｍｍｏｌ／Ｌ，平均斜率为２２０ｎＡ／ｍｍｏ

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