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基于Harr小波变换的集成块引脚位置偏差检测
基于Harr小波变换的集成块引脚位置偏差检测
来源 :仪器仪表学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:pzchh
【摘 要】
:
集成块引脚的位置检测是集成块外观检测中必不可少的一个环节,本文提出了基于Harr小波变换的大型集成块引脚位置偏差检测方法,当Harr小波的尺度与引脚宽度相当时,小波变换结果中的零值点
【作 者】
:
方晖
罗罡
【机 构】
:
南开大学现代光学研究所,南开大学现代光学研究所
【出 处】
:
仪器仪表学报
【发表日期】
:
2000年6期
【关键词】
:
Harr小波变换
集成块引脚
位置偏差检测
IC chipAspect inspectionHarrWavelet transfo
【基金项目】
:
天津市光电子联合科学研究中心基金
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集成块引脚的位置检测是集成块外观检测中必不可少的一个环节,本文提出了基于Harr小波变换的大型集成块引脚位置偏差检测方法,当Harr小波的尺度与引脚宽度相当时,小波变换结果中的零值点可用于确定引脚的中心线。该方法具有快速和精度高的特点。实验证明,该方法可达到40分之一像素的精度。
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