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ＯＥＭ硅压力传感器除具有普通扩散硅压力传感器的灵敏度高、稳定性好等优点外，还具有体积小、人格低廉易于批量生产等特点，成为市场的主导产品，文中对多种ＯＥＭ硅压力传感器的温度特性曲线及其补偿电路进行测试、比较、分析，对传感器温度曲线可补偿性进行研究，实现了低温度系数厚膜网络温度补偿。
OEM硅压力传感器温度补偿技术研究
【摘 要】
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ＯＥＭ硅压力传感器除具有普通扩散硅压力传感器的灵敏度高、稳定性好等优点外，还具有体积小、人格低廉易于批量生产等特点，成为市场的主导产品，文中对多种ＯＥＭ硅压力传感器的温度特性曲线
【机 构】
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沈阳仪器仪表工艺研究所
【出 处】
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仪表技术与传感器
【发表日期】
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2000年7期
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