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在半导体器件的生产过程中需要定期测量扩散炉、合金炉的恒温区段．针对人工测量效率低，精度差等问题。设计了基于LabVIEW虚拟仪器的恒温区自动测量系统．阐述了系统的组成和测量原理。
基于Ⅵ的恒温区段测量系统设计
【摘 要】
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在半导体器件的生产过程中需要定期测量扩散炉、合金炉的恒温区段．针对人工测量效率低，精度差等问题。设计了基于LabVIEW虚拟仪器的恒温区自动测量系统．阐述了系统的组成和测量
【机 构】
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石家庄铁道学院,北京工业大学嵌入式系统实验室
【出 处】
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微计算机信息
【发表日期】
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2006年05S期
【基金项目】
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国家教委十五“211工程”重点学科建设项目项目编号：（D030400404011）
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