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介绍了微细电化学加工的原理及特点,详细介绍了基于电化学扫描探针显微镜进行的电化学微细加工技术、EFAB制作技术、刻蚀剂层技术(CELT)、超微细电极电化学加工技术等几种目前主要的微细电化学加工技术.
微细电化学加工技术
【摘 要】
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介绍了微细电化学加工的原理及特点,详细介绍了基于电化学扫描探针显微镜进行的电化学微细加工技术、EFAB制作技术、刻蚀剂层技术(CELT)、超微细电极电化学加工技术等几种目
【机 构】
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广东工业大学机电学院
【出 处】
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机电工程技术
【发表日期】
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2005年5期
【基金项目】
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广东省自然科学基金，广东省广州市科技攻关项目
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