热处理工艺对Sol-gel法制备BST薄膜性能的影响

来源 :硅酸盐通报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：hbzjl001

【摘要】

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以醋酸锶、醋酸钡和钛酸四丁酯为前驱体原料，采用溶胶-凝胶（Sol-gel）法，利用旋转涂覆工艺，采用不同的热处理工艺制备了组分为Ba／Sr=0．65／0．35的Ba0.65Sr0.35TiO3薄膜。采用XRD、SEM和

【作者】

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刘敬周宗辉

【机构】

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济南大学材料科学与工程学院

【出处】

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硅酸盐通报

【发表日期】

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2008年6期

【关键词】

：

BST SOL-GEL 热处理工艺 BST Sol-gel heat-treating process

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以醋酸锶、醋酸钡和钛酸四丁酯为前驱体原料，采用溶胶-凝胶（Sol-gel）法，利用旋转涂覆工艺，采用不同的热处理工艺制备了组分为Ba／Sr=0．65／0．35的Ba0.65Sr0.35TiO3薄膜。采用XRD、SEM和阻抗分析仪分析薄膜的结晶、表面形貌和介电性能。研究了不同热处理工艺对BST薄膜晶化行为、结构和性能的影响。结果表明，最佳热分解温度和时间为400℃和30min，最佳升温速率为0．5～1℃；经650℃热处理后，BST薄膜已基本形成ABO，型钙钛矿结构，随着热处理温度的提高，薄膜的结晶程度提高，

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