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介绍了磁控溅射法，并在玻璃基上溅射金属钛薄膜。运用阳极氧化法使得到的钛薄膜氧化生成纳米氧化钛薄膜，并测试了其厚度，再经过8h、180℃的加热处理使其变成晶粒状。通过X衍射仪表明，晶化处理后薄膜具有典型的晶体结构衍射峰尖锐特征，为锐钛矿纳米晶氧化钛薄膜。运用扫描电镜在不同放大倍率下观察了薄膜的表面形貌。分别运用X衍射仪对比分析了薄膜晶化处理前后的图谱状态。用紫外可见光光度计测定了薄膜对入射光的吸收特性，表明：阳极氧化制备的纳米晶化二氧化钛薄膜对近紫外入射光产生强烈的吸收，出现蓝移现象，显示出纳米结构的量子化