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平面光波导在光波分复用技术中起着重要的作用,尤其是Si基SiO2波导器件在光通信领域中具有许多优点.因此,如何在Si衬底上制备出性能稳定良好的SiO2光波导材料至关重要.本文介绍了几种制备SiO2厚膜的方法.
AWG用Si基SiO2波导材料的制备
【摘 要】
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平面光波导在光波分复用技术中起着重要的作用,尤其是Si基SiO2波导器件在光通信领域中具有许多优点.因此,如何在Si衬底上制备出性能稳定良好的SiO2光波导材料至关重要.本文介
【机 构】
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吉林大学电子科学与工程学院
【出 处】
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光电子·激光
【发表日期】
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2002年8期
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