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本文首先介绍了原子力显微术的基本理论，其次讨论了原子力显微镜的结构原理，主要报导了一台我们研制的使用光学偏转法检测的原子力显微镜及仪器性能，仪器测试的结果表明我们这台原子力显微镜获得了原子分辨率，最后给出使用这台显微镜的首批实验结果。
原子力显微术
【摘 要】
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本文首先介绍了原子力显微术的基本理论，其次讨论了原子力显微镜的结构原理，主要报导了一台我们研制的使用光学偏转法检测的原子力显微镜及仪器性能，仪器测试的结果表明我们这台
【机 构】
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中国科学院北京电子显微镜实验室
【出 处】
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电子显微学报
【发表日期】
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1995年2期
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