纳米定位控制中消除PZT滞后及蠕变的方法

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总结了摈上来用PZT致动器进行纳米线性定位控制的方法,对其特点和局限性进行了分析,并提出了一种可望在较大行程范围内获得亚纳米定位分辨率的方法。
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