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纳米定位控制中消除PZT滞后及蠕变的方法
纳米定位控制中消除PZT滞后及蠕变的方法
来源 :压电与声光 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wcz741335565
【摘 要】
:
总结了摈上来用PZT致动器进行纳米线性定位控制的方法,对其特点和局限性进行了分析,并提出了一种可望在较大行程范围内获得亚纳米定位分辨率的方法。
【作 者】
:
吴一辉
王立鼎
【机 构】
:
中科院长春光学精密机械研究所
【出 处】
:
压电与声光
【发表日期】
:
1996年3期
【关键词】
:
PZT致动器
纳米定位
滞后
蠕变
压电换能器
PZT actuatornano-positioninghysteresiscreep
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总结了摈上来用PZT致动器进行纳米线性定位控制的方法,对其特点和局限性进行了分析,并提出了一种可望在较大行程范围内获得亚纳米定位分辨率的方法。
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