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液晶显示器的替代ODS清洗技术研究
液晶显示器的替代ODS清洗技术研究
来源 :山东大学学报(理学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:estone
【摘 要】
:
液晶显示器行业目前一般采用ODS溶剂清洗.对一种新型水基替代ODS清洗技术进行了研究,利用X射线光电子谱的测试方法,比较用两种清洗技术清洗过的样品,结果表明,新型替代清洗技
【作 者】
:
刘建强
李玉香
李强
宗福建
肖洪地
马洪磊
【机 构】
:
山东大学,山东长城电子清洗科技有限公司
【出 处】
:
山东大学学报(理学版)
【发表日期】
:
2004年6期
【关键词】
:
液晶显示器
替代ODS
清洗技术
X射线光电子谱
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液晶显示器行业目前一般采用ODS溶剂清洗.对一种新型水基替代ODS清洗技术进行了研究,利用X射线光电子谱的测试方法,比较用两种清洗技术清洗过的样品,结果表明,新型替代清洗技术优于传统ODS清洗技术.
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