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讨论了傅里叶变换光谱仪动镜稳定平移的重要性,研制了以高压无氧氮气为动力源的精密气动液压系统用于推进在研傅里叶变换光谱仪"猫眼"动镜系统,并在此基础之上测量了ZYGO干涉仪光源光谱图.
精密气动液压伺服系统用于傅里叶变换光谱仪光谱测量
【摘 要】
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讨论了傅里叶变换光谱仪动镜稳定平移的重要性,研制了以高压无氧氮气为动力源的精密气动液压系统用于推进在研傅里叶变换光谱仪"猫眼"动镜系统,并在此基础之上测量了ZYGO干涉
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械研究所
【出 处】
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光谱学与光谱分析
【发表日期】
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2004年期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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