【摘 要】
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美国康奈尔大学和新泽西州西门子研究与工艺实验室的科学家研制成一种转换频率为113GHz的GaAs晶体管。这种为调制掺杂场效应晶体管制作的结构在精确掺杂时的层厚达零点零几
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美国康奈尔大学和新泽西州西门子研究与工艺实验室的科学家研制成一种转换频率为113GHz的GaAs晶体管。这种为调制掺杂场效应晶体管制作的结构在精确掺杂时的层厚达零点零几微米。用电子束蚀刻这
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