微位移器的在线测试

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提出一种微位移器的在线测试方法,记录一组与微位移器位移特性相关的干涉图,截取每幅图中位置相同的一条线,建立干涉图截线法光强数学模型,然后在最小二乘法的基础上引入阻尼因子,通过几步快速迭代就可求出这组干涉图的相位主值,再通过相位解包就可得到微位移器的电压一相位曲线。并在本教研室研制的一台斐索干涉仪上进行了实验,实验结果表明:该方法克服了传统方法速度慢,精度低,标定和在线测试条纹疏密状态不一致的不足,简单易实现,运算量小,迭代次数适中,实时性强,可作为干涉测试中微位移器的在线测试方法。
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