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考虑边缘效应的影响,对微镜的静电力驱动扭矩进行了修正,建立了微镜的非线性力学模型,并利用增量迭代的方法求解微镜的静力学方程。数值分析表明,考虑边缘效应后微镜的扭转角增加,在一定情况下微镜的几何尺寸会对边缘效应产生很大的影响,主要因素是微镜的宽度与极板间距的比值。
边缘效应对微镜静态特性的影响
【摘 要】
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考虑边缘效应的影响,对微镜的静电力驱动扭矩进行了修正,建立了微镜的非线性力学模型,并利用增量迭代的方法求解微镜的静力学方程。数值分析表明,考虑边缘效应后微镜的扭转角
【机 构】
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广西工学院汽车工程系,广西大学土木建筑学院
【出 处】
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广西工学院学报
【发表日期】
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2007年4期
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