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期刊论文
扩散应力的测量及消除
扩散应力的测量及消除
来源 :华南理工大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zjr_1988
【摘 要】
:
本文采用光弹力学中的Senarmont补偿法,用红外光弹仪测量并分析了单面扩散、双面扩散工艺在硅衬底中引入应力的分布规律及产生机理。研究了双源补偿扩散法掺杂技术消除应力的可行性及工
【作 者】
:
黄岚
赵寿南
【机 构】
:
华南理工大学应用物理系
【出 处】
:
华南理工大学学报:自然科学版
【发表日期】
:
1994年1期
【关键词】
:
硅
应力
扩散
光弹性
s: silicon
stresses
diffusion
photoelasticity
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本文采用光弹力学中的Senarmont补偿法,用红外光弹仪测量并分析了单面扩散、双面扩散工艺在硅衬底中引入应力的分布规律及产生机理。研究了双源补偿扩散法掺杂技术消除应力的可行性及工艺条件。
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