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本文介绍的MEVVA源采用电动推进式可更换单阴极弧放电机构和加减速三栅引出系统,耐压水平在于50kV,平均束流大于5mA,束班约Ф150,束的不均匀度小于±20%。束的分布测量表明,在中心区有约Ф40的平顶区。我们已获得了Al,Ti,Cr,Fe,Ni,Cu,Y,Zr,Mo,Ta,W,C,LaB6等的离子束流及其最佳的运行条件。