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还原炉启动是多晶硅生产中的重要工艺环节。本文就改良西门子法多晶硅生产工艺及其生产过程中采用卤素灯加热器进行预加热硅芯启动还原炉和采用高压击穿硅芯启动还原炉在节能降耗等方面的优劣进行简要分析。
浅析高压击穿启动还原炉在多晶硅生产过程中的应用
【摘 要】
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还原炉启动是多晶硅生产中的重要工艺环节。本文就改良西门子法多晶硅生产工艺及其生产过程中采用卤素灯加热器进行预加热硅芯启动还原炉和采用高压击穿硅芯启动还原炉在节能
【机 构】
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昆明冶研新材料股份有限公司
【出 处】
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科技与企业
【发表日期】
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2013年13期
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