【摘 要】
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采用溶胶-凝胶法在玻璃衬底上制备了Zn0.98-xFe0.02FxO（x=0,0.01,0.02,0.03,0.04）薄膜,进而利用X射线衍射仪（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）、紫外-可见透过谱（UV-VIS）、光致发光（PL）多种测
【机 构】
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西南民族大学电气信息工程学院信息材料四川省重点实验室
【基金项目】
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四川省学术和技术带头人培养基金（25727501）,中央高校优秀学生培养项目（13ZYXS86）
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采用溶胶-凝胶法在玻璃衬底上制备了Zn0.98-xFe0.02FxO（x=0,0.01,0.02,0.03,0.04）薄膜,进而利用X射线衍射仪（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）、紫外-可见透过谱（UV-VIS）、光致发光（PL）多种测试手段研究了不同掺F浓度对Zn O∶Fe薄膜的表面形貌、微结构、禁带宽度及光致发光的影响。结果表明：样品均为六角纤锌矿结构,当F掺杂浓度为2at%时,薄膜的结晶度最好且表现出明显的c轴择优取向。随着F掺杂浓度的进一步增大,薄膜的结晶性逐渐变差,c轴择优取向消失。F掺杂Zn
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