【摘 要】
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还原炉结构、运行工艺参数密切影响着还原炉电耗和多晶硅质量,优化还原炉结构和气相沉积过程的运行工艺参数是降低多晶硅还原炉电耗的主要研究方向。研究表明,加大还原炉体积
【机 构】
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亚洲硅业(青海)有限公司; 青海民族大学; 昆明理工大学;
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还原炉结构、运行工艺参数密切影响着还原炉电耗和多晶硅质量,优化还原炉结构和气相沉积过程的运行工艺参数是降低多晶硅还原炉电耗的主要研究方向。研究表明,加大还原炉体积、提高单炉产量、更有效地利用炉内热辐射,能够大幅降低还原能耗。本文论述一种高效、节能的48对棒大型还原炉的设计开发,采用全数字化研发手段设计了与之配套的钟罩、底盘、喷嘴结构、进出气口排布等核心部件,通过计算机模拟验证所设计还原炉炉内流场、温场的合理性,结合现场试验针对大型还原炉制定参数运行曲线,其还原电耗稳定降至40kWh/kg-si左右,单炉产量达到12t,TCS单耗降低至41.92kg/kg-si以下,实现了48对棒多晶硅还原炉的产业化应用。
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