【摘 要】
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采用Li-N-H共掺技术在玻璃衬底上生长p型ZnO薄膜．XRD结果表明共掺ZnO薄膜具有高度c轴取向,Hall测试表明薄膜的电阻率为25．2Ω·cm,Hall迁移率为0．5cm~2/(V·s),空穴浓度为4．92×1
【机 构】
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浙江大学硅材料国家重点实验室,浙江大学硅材料国家重点实验室,浙江大学硅材料国家重点实验室,浙江大学硅材料国家重点实验室,浙江大学硅材料国家重点实验室,浙江大学硅材料国家重点实验室 杭州 310027,
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采用Li-N-H共掺技术在玻璃衬底上生长p型ZnO薄膜．XRD结果表明共掺ZnO薄膜具有高度c轴取向,Hall测试表明薄膜的电阻率为25．2Ω·cm,Hall迁移率为0．5cm~2/(V·s),空穴浓度为4．92×10~(17)/cm~3．此外,p-ZnO薄膜在可见光区域具有90%的高透射率．
P-type ZnO thin films were grown on glass substrates by Li-N-H co-doping. XRD results show that the co-doped ZnO films have a high c-axis orientation. The Hall test shows that the film has a resistivity of 25.2 Ω · cm, a Hall mobility of 0.5 cm -2 / (V · s) and a hole concentration of 4.92 × 10 ~ (17) / cm ~ 3. In addition, the p-ZnO thin film has a high transmittance of 90% in the visible region.
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