【摘 要】
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电子束光刻作为下一代光刻技术（Next Generation Lithography，NGL），以其分辨率高和性能稳定被认为是在22nm节点最具有发展前景的光刻技术之一。本文归纳了电子束光刻胶用成膜树脂
【机 构】
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江南大学化学与材料工程学院,苏州瑞红电子化学品有限公司
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电子束光刻作为下一代光刻技术（Next Generation Lithography，NGL），以其分辨率高和性能稳定被认为是在22nm节点最具有发展前景的光刻技术之一。本文归纳了电子束光刻胶用成膜树脂，主要分为聚甲基丙烯酸甲酯及其衍生物、树枝状聚合物、分子玻璃、有机硅及碳材料等应用于电子束光刻的成膜树脂类型，综述了其研究进展，最后对电子束光刻胶未来的发展前景和方向进行了展望。
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