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光敏聚酰亚胺的最新进展
光敏聚酰亚胺的最新进展
来源 :功能高分子学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:A88833238
【摘 要】
:
综述光敏聚酰亚胺作为感光高分子的最新进展,着重叙述了有机硅改性光敏聚酰亚胺,自增感光敏聚酰亚胺和含氟光敏聚酰亚胺的制备方法和性能研究。
【作 者】
:
冯威
李佐邦
【机 构】
:
河北工业大学化工系,河北工业大学化工系天津300130,天津300130
【出 处】
:
功能高分子学报
【发表日期】
:
1996年1期
【关键词】
:
聚酰亚胺
抗蚀剂
PSPI
感光性
耐热性
Photosensitive polyimides
Photosensitive polymers
Photor
【基金项目】
:
国家自然科学基金,,河北省科委自然科学基金资助项目
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综述光敏聚酰亚胺作为感光高分子的最新进展,着重叙述了有机硅改性光敏聚酰亚胺,自增感光敏聚酰亚胺和含氟光敏聚酰亚胺的制备方法和性能研究。
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