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采用化学气相沉淀法（CVD）制备了分布均匀的Cu/CNTs复合粉末,利用SEM,TEM和Raman光谱分别对其形貌和结构进行表征。结果表明,采用10%（质量分数）Cr催化剂,混合气体（Ar/H2/C2H4）比例为8∶24.5∶3,生长温度为800℃、生长时间为30min时,制备的碳纳米管管壁光滑洁净、管径粗细均匀、几乎没有缺陷,碳纳米管的形貌最佳。