【摘 要】
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本文提出了网格板刻线单项精度指标的测量方法,可计算出刻线交点的座标误差,供使用中作修正量用。交点位置的检定极限误差小于1微米。在目前缺乏高精度二维线纹测量设备的情
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本文提出了网格板刻线单项精度指标的测量方法,可计算出刻线交点的座标误差,供使用中作修正量用。交点位置的检定极限误差小于1微米。在目前缺乏高精度二维线纹测量设备的情况下,本文对网格板检定工作有一定参考价值。
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