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重点介绍了半导体原料六氯乙硅烷的制备工艺，包括精馏法、吸附法、萃取法、光氯化法以及这些方法的组合。对比分析了上述方法的优缺点，展望了半导体原料六氯乙硅烷制备工艺的发展方向。此外，还简要介绍了发展六氯乙硅烷制备工艺对多晶硅厂商的重要意义。
六氯乙硅烷的制备工艺研究进展
【摘 要】
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重点介绍了半导体原料六氯乙硅烷的制备工艺，包括精馏法、吸附法、萃取法、光氯化法以及这些方法的组合。对比分析了上述方法的优缺点，展望了半导体原料六氯乙硅烷制备工艺的发
【机 构】
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洛阳中硅高科技有限公司
【出 处】
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化工管理
【发表日期】
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2018年10期
【基金项目】
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河南省科技创新人才计划,洛财预[2017]130号
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