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文章对在光学，电子和机床械元器件的加工达到微米或亚微米级型面精度及纳米级表面粗糙度的超精密切削技术进行了综述。讨论了机床，测量及控制，刀具及其它相关技术，对于切屑的去除过程与微切削相关的现象进行了物理特性的讨论分析。
超精密切削面临的课题
【摘 要】
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文章对在光学，电子和机床械元器件的加工达到微米或亚微米级型面精度及纳米级表面粗糙度的超精密切削技术进行了综述。讨论了机床，测量及控制，刀具及其它相关技术，对于切屑的去除
【机 构】
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哈尔滨工业大学
【出 处】
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制造技术与机床
【发表日期】
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1999年11期
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