切换导航
文档转换
企业服务
Action
Another action
Something else here
Separated link
One more separated link
vip购买
不 限
期刊论文
硕博论文
会议论文
报 纸
英文论文
全文
主题
作者
摘要
关键词
搜索
您的位置
首页
期刊论文
强流氧离子注入机装卸片控制系统
强流氧离子注入机装卸片控制系统
来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zqtoo
【摘 要】
:
介绍了一种用于强流氧离子注入机的装卸片控制系统,控制系统采用多轴运动控制器实现了多个电机的协同运动,解决了晶圆在传送过程中的中心偏差校正和角度校正的问题,并最终实现了
【作 者】
:
罗宏洋
汤辉
龙娟
【机 构】
:
中国电子科技集团公司电子第四十八研究所
【出 处】
:
电子工业专用设备
【发表日期】
:
2009年9期
【关键词】
:
离子注入机
微粒污染
全自动
装卸片
下载到本地 , 更方便阅读
下载此文
赞助VIP
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
介绍了一种用于强流氧离子注入机的装卸片控制系统,控制系统采用多轴运动控制器实现了多个电机的协同运动,解决了晶圆在传送过程中的中心偏差校正和角度校正的问题,并最终实现了晶圆的全自动传送。
其他文献
幼儿期唾液中变形链球菌数与患龋状况关系的研究——同所幼儿园5年追踪观察
目的:探讨幼儿期唾液中S.mutans菌数情况,分析其与乳牙患龋状况的关系。方法:以同所幼儿园3~5岁幼儿(累计854名)为对象,连续5年作乳牙龋病检查,用Dentocult SM作唾液中S.mutans菌
期刊
幼儿
龋病
S.mutans
龋病活跃性
Pre-school children dental caries S.mutans Caries activity
批判说,还是疗救说——谈《药》的主题
分析造成革命者悲哀的原因,并证之于作者其他有关论述,表明《药》的主题,不是对辛亥革命脱离群众的批判,而是引起疗救的注意。同时也反映出作者从民主主义者向共产主义者转化
期刊
《药》
辛亥革命
鲁迅
国民性
革命者
脱离群众
资产阶级民主主义革命
发声器
共产主义者
大革命失败
要在党的领导下推进民主法制建设
党的十五大报告明确指出:"建设有中国特色社会主义的政治,就是在中国共产党领导下,在人民当家做主的基础上,依法治国,发展社会主义民主政治。"这段论述非常重要,我们要认真学
期刊
依法治国
民主法制建设
人民当家做主
社会主义民主政治
人民代表大会制度
十五大报告
中国共产党领导
人民民主专政
社会主义初级阶段
建设有中国特色社会主义
“征粮风波”平息记
2002年1月7日,周宁县泗桥乡赤岩村村民祝某手持一份《泗桥乡暴力逼粮,人心不宁,民愤极大》的上访报告,来到周宁县人大常委会上访。他在信访报告
期刊
人大常委会
周宁县
农民负担
征粮
乡政府
农村税费改革
群众
征购
三提五统
收费项目
即刻植骨同期种植体植入修复下颌骨缺损
目的:探讨下颌骨缺损即刻植骨同期种植的可行性.方法:对6例下颌骨部分切除的患者,行下颌骨缺损即刻植骨同期种植术.其中2例行血管化腓骨双层折叠移植,另4例为非血管化髂骨移
期刊
即刻植骨同期种植体
植入
修复
下颌骨缺损
Mandibular defectBone graftImplant
浅谈郊外练习对青少年中长跑训练的重要性
根据青少年生理、心理特点,利用郊外活动场所,通过练习来全面提高运动员的身体素质,专项素质。这对于培养我国优秀中长跑运动员的后备人才,具有深远的现实意义。
期刊
郊外练习
青少年
中长跑
身体素质
专项素质
Suburban exercisesadolescent's mediumor long-distance
妊娠中期因子在口腔癌中的表达及其意义
目的:研究妊娠中期因子(midkine,MK)在口腔癌中的表达及其意义.方法:应用免疫组织化学、Western免疫印迹方法,对50例人口腔癌组织、30例良性肿瘤组织、30例正常口腔组织进行
期刊
妊娠中期因子
口腔癌
Midkine Oral carcinoma
外地入渝水利勘察设计企业业务发展方法探析
重庆河流众多、水能资源丰富,但本地水利勘察设计企业较少,市场相对较开放,因此吸引了众多外地企业入渝参与市场竞争。外地企业如何在重庆发展业务、占领市场份额,是企业生存
期刊
水利勘察设计
外地企业
重庆
业务发展
survey and designenterprisesChongqingbusiness development
聚酯塑料再生与加工有重大创新
由华东理工大学李滨耀、吴驰飞教授等承担的国家‘863’项目——PET塑料回收及应用项目日前通过国家科技部的专家验收,该项目的完成不仅实现了废弃高分子材料的再生利用和塑料
期刊
塑料再生
加工技术
创新
废弃高分子材料
聚酯
华东理工大学
国家科技部
塑料回收
再生利用
项目
紫杉醇及β-榄香烯对人涎腺腺样囊性癌细胞株SACC—LM细胞毒作用的研究
目的:研究紫杉醇及β-榄香烯联合应用对体外培养人涎腺腺样囊性癌细胞株SACC-LM的细胞毒作用.方法:应用药物敏感性MTT测定法、流式细胞术和透射电子显微镜观察等方法,探讨紫
期刊
涎腺腺样囊性癌
细胞周期
紫杉醇
Β-榄香烯
Salivary adenoid cystic carcinomaSACC-LM cell lineCell cy
与本文相关的学术论文