【摘 要】
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过去几十年中,短波红外InGaAs探测器被广泛用于近红外探测系统中,通过将InGaAs光电探测器与纳米光天线结合可以增强光吸收并提高量子效率。然而,这种纳米光天线往往由聚焦离
【机 构】
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传感技术国家重点实验室,中国科学院红外成像材料与器件重点实验室,中国科学院大学
【基金项目】
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国家自然科学基金青年科学基金项目(61604159);国家自然科学基金青年科学基金项目(61704180)
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过去几十年中,短波红外InGaAs探测器被广泛用于近红外探测系统中,通过将InGaAs光电探测器与纳米光天线结合可以增强光吸收并提高量子效率。然而,这种纳米光天线往往由聚焦离子束或电子束光刻制备而成,制备成本较高。本文介绍了一种更经济的沉积法来制备纳米光天线。用沉积法制备了纳米Ag颗粒阵列,Ag球平均半径为200nm。研究了Ag纳米球阵列的表面等离子体效应对InGaAs光电探测器光吸收性能的影响,发现在整个近红外波段,InGaAs光电探测器帽层的透过率均显著提高。并且发现SiO2涂层激发了局域表面等离子体
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