基于Krylov子空间法的MEMS降阶建模与仿真

来源 :机械工程学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：haludahuaidan

【摘要】

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获得系统的宏模型是MEMS系统级建模与仿真的关键.将Krylov子空间理论与方法应用于MEMS降阶建模,介绍了Krylov子空间的理论基础,针对MEMS中常见的静电-结构耦合系统,建立了有

【作者】

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孙道恒马海阳李文望

【机构】

：

厦门大学机电工程系

【出处】

：

机械工程学报

【发表日期】

：

2004年5期

【关键词】

：

MEMS 子空间宏模型耦合有限元 MEMSSubspaceMacro modelCoupledFEM

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获得系统的宏模型是MEMS系统级建模与仿真的关键.将Krylov子空间理论与方法应用于MEMS降阶建模,介绍了Krylov子空间的理论基础,针对MEMS中常见的静电-结构耦合系统,建立了有限元动力学方程,运用修正Arnoldi算法得到降阶模型.算例表明,经大幅度降阶得到的模型真实地反映了系统地运动状态,大大缩短了求解时间,降低了计算复杂度.

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