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针对铝乳胶源涂布与气相镓相结合的开管受主双质扩散技术，本文就其掺杂机制进行了分析讨论。
开管铝镓扩散的掺杂机制
【摘 要】
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针对铝乳胶源涂布与气相镓相结合的开管受主双质扩散技术，本文就其掺杂机制进行了分析讨论。
【机 构】
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山东师范大学半导体所
【出 处】
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半导体杂志
【发表日期】
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1996年3期
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