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本文从氧化膜中电流输运机理出发,结合实验,讨论了影响氧化膜击穿特性的因素;介绍了能使薄膜击穿特性得到明显改善的合理的清洗方法和等温两步氧化新工艺;同时介绍了薄膜组份的俄歇能谱分析以及界面态密度的DLTS法测量等。
薄氧化膜特性研究
【摘 要】
：
本文从氧化膜中电流输运机理出发,结合实验,讨论了影响氧化膜击穿特性的因素;介绍了能使薄膜击穿特性得到明显改善的合理的清洗方法和等温两步氧化新工艺;同时介绍了薄膜组份
【机 构】
：
东南大学,常州半导体厂
【出 处】
：
电子工艺技术
【发表日期】
：
1989年3期
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