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介绍了微系统专用的设计方法,即虚拟制造微系统来实现微系统的设计,并提供了微系统设计流程.
微系统的设计
【摘 要】
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介绍了微系统专用的设计方法,即虚拟制造微系统来实现微系统的设计,并提供了微系统设计流程.
【机 构】
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浙江水利水电专科学校,浙江大学
【出 处】
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机械与电子
【发表日期】
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2003年1期
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