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研究了在一定温度的石墨基体表面上用化学气相沉积钨涂层的方法.通过调节氢气、氯气的气流量,控制流量比,得到了具有一定厚度、晶粒均匀致密的钨涂层,并对试验中仍需解决的问题做了讨论.
用化学气相沉积方法在石墨表面沉积钨涂层的研究
【摘 要】
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研究了在一定温度的石墨基体表面上用化学气相沉积钨涂层的方法.通过调节氢气、氯气的气流量,控制流量比,得到了具有一定厚度、晶粒均匀致密的钨涂层,并对试验中仍需解决的问
【机 构】
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西北有色金属研究院
【出 处】
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稀有金属快报
【发表日期】
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2005年3期
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