论文部分内容阅读
针对某些轴类零件表面上划痕深度的测量，提出了基于直射式激光三角法的测量系统。利用激光三角法测距的基本原理，设计了以单轴十字滑台为移动元件，激光发射接受装置和高精度CCD为测量元件的零件表面划痕深度测量方案。试验结果表明，该测量仪器能够实现轴类零件表面划痕深度测量的快速性和准确性，响应迅速，测量精度可达0．001mm。