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本文以作者对光刻机刻蚀光头调焦音圈电机的设计的实际经验为例,阐述了两种音圈电机结构的设计原则.并对这两种音圈电机的性能进行了分析.
伺服图形光刻机调焦系统音圈电机的设计
【摘 要】
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本文以作者对光刻机刻蚀光头调焦音圈电机的设计的实际经验为例,阐述了两种音圈电机结构的设计原则.并对这两种音圈电机的性能进行了分析.
【机 构】
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华中理工大学计算机学院,430074,武汉
【出 处】
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新电脑
【发表日期】
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1999年3期
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