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阐述了声学显微镜的结构，工作原理，以及声学显微镜在电子元器件检测中广泛的实际应用研究；指出ＳＡＭ是一种具有观察，检测，分析的多功能仪器，将成为超声检测仪器升级换代产品。
声学显微镜及在电子器件工业中的应用
【摘 要】
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阐述了声学显微镜的结构，工作原理，以及声学显微镜在电子元器件检测中广泛的实际应用研究；指出ＳＡＭ是一种具有观察，检测，分析的多功能仪器，将成为超声检测仪器升级换代产品。
【机 构】
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清华大学电子工程系
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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1994年1期
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