【摘 要】
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制备了镍内电极Y5V特性多层陶瓷电容器（MLCC），采用SEM、DPA等分析手段研究了烧结工艺对样品电性能和可靠性的影响，结果发现，合适的烧结温度可以使陶瓷晶粒生长充分均匀，使陶瓷体致
【基金项目】
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国家国际科技合作项目(项目编号:2010DFB33920)
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制备了镍内电极Y5V特性多层陶瓷电容器（MLCC），采用SEM、DPA等分析手段研究了烧结工艺对样品电性能和可靠性的影响，结果发现，合适的烧结温度可以使陶瓷晶粒生长充分均匀，使陶瓷体致密度高。合适的烧结气氛可以减小样品在烧结时的内部应力，从而防止内部缺陷的发生。烧结温度和烧结气氛的合理匹配，可以使样品的电性能和可靠性达到最优。
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