【摘 要】
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<正>非晶硅微测辐射热计可以使像元间距为17μm的高灵敏度和使用方便的非致冷型红外焦平面阵列直接实现大批量生产。红外探测器阵列具有许多军事和商业用途,比如夜视与监视、
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<正>非晶硅微测辐射热计可以使像元间距为17μm的高灵敏度和使用方便的非致冷型红外焦平面阵列直接实现大批量生产。红外探测器阵列具有许多军事和商业用途,比如夜视与监视、消防、节能、人体发烧检测以及工业监控等。其中,致冷型红外探测器阵列的性能高,但其需要使用昂贵的机械制冷机和价格不菲的电子级半导体
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