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中科院上海光机所研制的“纳米精度激光激振测振仪”项目，在MEMS结构激光激振测振领域取得了重要成果，成功研制出一台具有自主知识产权的纳米精度激光激振测振仪样机。该样机的主要技术性能达到了同类产品的国际先进水平。
上海光机所激光纳米研究取得重要成果
【摘 要】
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中科院上海光机所研制的“纳米精度激光激振测振仪”项目，在MEMS结构激光激振测振领域取得了重要成果，成功研制出一台具有自主知识产权的纳米精度激光激振测振仪样机。该样机的
【出 处】
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光机电信息
【发表日期】
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2005年8期
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