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纳米测量技术已成为纳米技术的重要组成部分。微型明仪器，是微型传感器、微型执行器和信息处理技术、微电子技术发展的必然产物，是微型机械电子系统的主要开窍内容之一。它将仪器的性能提高、价格下降、在生产和生活中应用更加方便。微型智能仪器具有良好的应用前景，是２１世纪仪器发展的一个重要方向。对纳米测量技术和微型智能仪器的一些普遍问题，关键技术及其发展进行论述。