【摘 要】
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由于金刚石具有室温下最高的热导率，因此用化学气相沉积（CVD）制备的金刚石膜是大功率发光二极管（LED）理想的散热材料。本文利用微波等离子体CVD研究了不同沉积工艺下金刚石薄膜的
【机 构】
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武汉工程大学等离子体化学与新材料重点实验室,江汉大学化学与环境工程学院
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由于金刚石具有室温下最高的热导率，因此用化学气相沉积（CVD）制备的金刚石膜是大功率发光二极管（LED）理想的散热材料。本文利用微波等离子体CVD研究了不同沉积工艺下金刚石薄膜的生长。用扫描电子显微镜（SEM）和拉曼光谱对得到的金刚石薄膜进行了表征，并将金刚石薄膜用作LED散热片的散热效果进行了检测。结果表明：在硅衬底上沉积20-30μm的CVD金刚石薄膜可以有效地降低LED的工作温度；在相同的制备成本下，提高薄膜的厚度（甲烷浓度4％）比提高薄膜的质量（甲烷浓度2％）更有利于提高LED的散热效果。本研究表
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