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推导了TEM00、TEM10、TEM01、TEM00和TEM01光束两两相干叠加的M2因子的解析表达式,并数值对比分析了一些光学参数对叠加场M2因子的影响程度,得出了诸如光束的束腰宽度对M2因子影响相对较大等结果。最后,文章开展了实验,测量了两个TEM00相干叠加的M2因子,理论结果和实验结果吻合得很好。