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建立了考虑耦合作用的微梳齿驱动器仿真模型，研究了结构变化对梳齿的驱动性能的影响，并分析了结构基板及斜齿误差和偏移误差对结构驱动效果的影响。结果表明：基板造成的悬浮减小了驱动效果，驱动性能由于斜齿误差的存在而降低，偏移误差造成结构的横向不稳定。
微梳齿驱动性能的耦合仿真研究
【摘 要】
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建立了考虑耦合作用的微梳齿驱动器仿真模型，研究了结构变化对梳齿的驱动性能的影响，并分析了结构基板及斜齿误差和偏移误差对结构驱动效果的影响。结果表明：基板造成的悬浮减小
【机 构】
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清华大学精密仪器与机械学系摩擦学国家重点实验室
【出 处】
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工程力学
【发表日期】
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2008年7期
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