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提出了一种用有限元工具ANSYSTM的谐响应分析功能仿真陀螺在模态频率下位移的方法。利用这种方法,仿真得到了陀螺模态间的机械耦合,并通过测试对仿真结果进行了验证。这种方法还能仿真由于工艺误差造成的结构不对称性对陀螺性能的影响,并证明了双解耦性能有利于抑制这种不对称带来的误差。
一种用有限元工具仿真水平轴微陀螺解耦性能的方法
【摘 要】
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提出了一种用有限元工具ANSYSTM的谐响应分析功能仿真陀螺在模态频率下位移的方法。利用这种方法,仿真得到了陀螺模态间的机械耦合,并通过测试对仿真结果进行了验证。这种方
【机 构】
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北京大学微电子系
【出 处】
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传感技术学报
【发表日期】
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2008年02期
【基金项目】
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国家自然科学基金资助“微米/纳米加工技术国家级重点实验室”(50575001)
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