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利用高温热解SiH4。的方法获得气相Si原子，然后通过气相Si原子与N2O反应成功得到了亚稳态储能粒子SiO（b^3∏）。通过不断地改进装置和实验探索，掌握了该合成反应的实验规律，并对实验条件进行了优化。N2O与SiH4。的流量配比在8～10,SiH4。稀释比在0．3％左右。热解温度在1160～1170℃时，得到了最强的光谱信号。