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有序分子薄膜由于其特殊的结构而表现出优异的性能。为此,人们对微结构与宏观性能之间的关系极为重视。本文重点讨论了近年来X射线光电子能谱在有序分子薄膜位结构分析中取得的结果及其应用情况。其中包括:薄膜厚度的确定、薄膜-基底界面结构、分子之间的相互作用情况及其有序分子结构对薄膜电学、气体敏感特性等宏观性能的影响。研究结果说明,X射线光电子能谱由于其对薄膜的损伤小,表面探测灵敏度高和较高的能量分辨能力,因